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        半導體電子設備

        LCS系列立式旋轉沖洗甩干機

        發(fā)布時間:2020-10-05 作者:魯超超聲 點擊:111次

        LCS系列立式旋轉沖洗甩干機(圖1)

         

         

        概述:

        本機是主要應用于太陽能電池和半導體硅片等的沖洗甩干工藝環(huán)節(jié),具有容量大、效率高的特點。

        主要特點:

        彩色液晶觸摸屏實時監(jiān)控,可存儲多種工藝菜單。

        腔體和轉架采用316不銹鋼,電化學拋光處理。

        去離子水電阻率監(jiān)控功能。

        無刷電機驅動

        氮氣溫度控制

        轉軸氮氣密封

        具有鎖蓋防護功能

        故障診斷、顯示、報警功能

        可提用戶特殊要求配置

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